科学研究

微纳制造先进材料研究团队

Research Team For Advanced Micro- Nano-Fabrication Materials


一、团队介绍

“微纳制造先进材料研究团队”成立于2019年，是一支以微纳制造新材料在集成电路、宽禁带半导体、光电与显示交叉学科的创新团队。由国家级人才孙韬教授领衔组成，依托于yl23455永利官网。科研团队成员包括国家级人才1人，省部级人才1人，扬帆计划1人，多位老师有海外学习和工作的经历，曾承担或参与过国家自然科学基金项目、国家自然科学基金青年项目、国家科技重大专项、上海市自然基金项目、上海市纳米重大专项、江苏省重大成果转化项目和江苏省科技支撑项目等。并在<Science>、<Nature>等国际知名顶级学术期刊上公开发表过代表性高水平科研论文。团队成立至今共计发表论文25篇；申请专利多项，其中获授权发明专利17项；获批国家级以及上海市纵向科研项目共计98万元，签约横向科研项目共计718.5万元，获省部级二等奖2人次。


二、团队研究方向

团队以摩擦催化为核心技术与创新基础，聚焦微纳制造产业，尤其是第三代半导体材料的超精密加工，围绕微纳制造CMP抛光材料、材料表面微纳结构处理、微纳智能制造研究方向创建微纳制造新材料交叉学科。通过超精密加工特性，引入原位功能场，引领创新超精密制造用材料的多功能化。团队主要致力于：

1.先进微纳材料合成；

2.微纳制造CMP抛光材料；

3.材料表面微纳结构处理；

4.柔性可穿戴电子传感器件与储能器件；

5.摩擦化学、摩擦催化工程等相关的研究。

三、团队主要成员


1

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孙韬  教授（硕导）  电子邮箱：04190006@sues.edu.cn

1993年美国夏威夷大学博士毕业，1996年于美国麻省理工学院化学系完成博士后相关工作。曾任职于金陵石化、美国陶氏化学中心研究院以及美国嘉博微电子公司从事催化、纳米复合材料、超精密制造用抛光液方面的研究与产业化。2007年至今被南京航空航天大学新材料学院聘为特聘教授。于2009年获得国家级荣誉及奖励； 2019年受上海工程技术大学特聘入职于yl23455永利官网，2022 年评为俄罗斯自然科学院外籍院士，主要从事微纳制造先进材料、摩擦催化工程、智能检测仪器设备以及超精密制造工艺等方面的研究；在Nature、Chemical Reviews、Science、Advanced Materials、Angew. Chemie,、Materials Science in Semiconductor Processing等著名期刊发表论文数篇，国际、国内授权发明专利20多项。承担并主持国家自然科学基金面上项目、江苏省重大成果转化、江苏省“六大人才”高峰等项目；参与了美国NIST 支持的Dow Chemical/Magna Joint ATP、DOE的Research Needs Assessment on Nanostructured Catalysts等项目。

2

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张泽芳  副研究员（硕导）  电子邮箱：zfzhang@fudan.edu.cn

2011年中科院上海微系统与信息技术研究所博士毕业，2019年入职yl23455永利官网，主要从事化学机械抛光等方面的研究；在ECS Journal of Solid State Science and Technology、Microelectronic Engineering、Jounral of the Electrochemical Society,、Applied Surface Science等著名期刊发表论文数篇，授权发明专利多项。承担并主持国家自然科学青年基金、上海市科技型中小企业技术创新基金等纵向科研项目；参与了国家科技重大专项，上海市纳米重大专项等项目。


3

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江振林  高级实验师 （硕导） 电子邮箱：jiang06150112@163.com

2017年东华大学材料学院博士毕业，2018年入职yl23455永利官网，主要从事功能高分子（阻燃、可降解）设计与应用、高性能特种涂层与膜材料、基于工艺数据仿真的智能制造（化工、纺织、 机械）；在Applied Surface Science，Carbohydrate Polymers，Journal of Applied Polymer Science，合成纤维工业，材料导报等发表论文9篇，授权发明专利7项，承担国防科工委、国防创新特区、上海市“扬帆计划”、教育部重点实验室基金等纵向科研项目5项，主持企业委托科研项目6项；参与了“国家科技重点研发计划”项目和工信部“智能制造”项目。相关成果获得2018年福建省科技进步二等奖，2021年湖南省科技进步二等奖。

4

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陈佳鹏  讲师（硕导）  电子邮箱：34210007@sues.edu.cn

2021年博士毕业于南京航空航天大学，2021年入职yl23455永利官网近5年来围绕磨料制备、半导体表面平坦化与监测，研发新型复合磨料并应用于集成电路和光伏半导体的切割和光整加工，与昆山杰冉、宁波日晟、天长昱晟、无锡斯达均保持产学研合作。主持省市级或企业项目5项，支持国家自然科学基金重点项目在内的国家级、省部级项目9项，总经费1500余万元；以第一/通讯作者发表一区SCI论文16篇，被引178次；申请中国发明专利13件，已授权5件，成果转化2件，直接金额165万元，登记中国软件著作6件；曾获中国机械工程学会“上银优博特别奖”等科研奖励2项，“挑战杯”上海赛区银奖“优秀指导教师”等个人荣誉2项。兼任“江苏省精密与微细制造技术重点实验室”客座研究员和宁波日晟新材料有限公司研发总监。

5


王宝秀  副教授（硕导）  电子邮箱：wangbaoxiu@sues.edu.cn

2019年毕业于东华大学材料学院，荷兰内梅亨大学联合培养博士，东华大学博士后；主要致力于高分子材料的结构设计、制备技术体系构建及在生物医用、半导体、智能可穿戴领域的应用研究；主持国家自然科学基金青年基金项目1项、中国博士后科学基金特别资助项目1项；获中国纺织工业联合会科技进步二等奖1项；以第一或通讯作者在Nano Energy、Acta Biomaterialia、Carbohydrate Polymers等期刊上发表论文14篇，获授权发明专利5项。


三、团队研究成果

承担科研项目

  1. 宁波日晟新材料有限公司“固结磨料高效低损光整SiC晶圆的非水基抛光液研发”, 200

  2. ，2021-2026年，主持；

  3. 大连正兴磨料有限公司“碳化硼抛光液的研发”，150万，2021-2026年，主持；

  4. 国家自然科学（面上）“摩擦催化增强自锐性固结磨粒抛光垫高效无损抛光SiC单晶基础研究”，58万，2021-2024年，主持；

  5. 国家自然科学（青年）“促尿道修复细菌纤维素基双层仿生支架的构建及评价”，16万，2021-2022年，主持；

  6. 上海市科委，扬帆计划项目“低毒低烟聚酯纤维的设计与制备应用”，20万，2019-2022年，主持；

  7. 南方寝饰科技有限公司“健康睡眠智能纤维及功能纺织品的开发”，100万，2020-2021年, 主持。

  8. 上海多纶化工有限公司“功能性纤维配套纺丝油剂的研究与应用”， 30万，2019-2022年，主持；

  9. 无锡索力得科技发展有限公司“差别化涤纶工业丝的开发”，15万，2019 -2020年，主持；

  10. 上海市科技型中小企业技术创新项目“新型蓝宝石抛光液的设计制备及产业化”，20万，2017-2018年，主持；

  11. 国家自然科学（青年）“新型LED蓝宝石衬底抛光液设计及其抛光机理研究”，24万，2013-2015年，主持；

  12. 江苏重大成果转化项目“高清液晶显示屏表面超精密加工用纳米抛光材料的研发及产业化”，1400万，2012-2014年，主持；

  13. NIST(美国国家标准与技术研究院)Dow Chemical/Magna Joint ATP Program ”Automotive Nanocomposites （汽车纳米复合材料）”, $7.5M, 1998-2001年，参加；

  14. DOE（美国能源局）”Research Needs Assessment on Nanostructured Catalysts （纳米机构催化剂的评估与展望）”，$500K, 1995-1996年，参加。

代表论文

  1. Mechanistic difference between Si-face and C-face polishing of 4H–SiC substrates in aqueous and non-aqueous slurries. Ceramics International, 2023, 49:7274-7283.

  2. Super hard and brittle material removal mechanism in fixed abrasive lapping: Theory and modeling. Tribology International, 2023, 184: 108493

  3. Multi-strand Fibers with Hierarchical Helical Structures Driven by Water or Moisture for Soft Actuators. ACS Omega, 2023 8 (2), 2243-2252，DOI: 10.1021/acsomega.2c06487

  4. Preparation and Mechanism of Bio-Based Sodium Alginate Fibers with Flame Retardant and Antibacterial Properties. Polymers 2023, 15, 154.

  5. A 3D-printable TEMPO-oxidized bacterial cellulose/alginate hydrogel with enhanced stability via nanoclay incorporation[J].Carbohydrate Polymers, 2023,238.DOI:10.1016/j.carbpol.2020.116207.

  6. High efficiency polishing of silicon carbide by applying reactive non-aqueous fluids to fixed abrasive pads, Ceramics International, 2022, 48(5): 7273-7282.

  7. Surface acidity of colloidal silica and its correlation with sapphire surface polishing, Colloids and Surfaces A: Physicochemical and Engineering Aspects, 2022, 651:129718.

  8. Accelerated C-face polishing of silicon carbide by alkaline polishing slurries with Fe3O4 catalysts, Environmental Chemical Engineering, 2021, 9: 106863

  9. In-situ manifestation of lapping mechanisms by rapid intelligent pattern recognition analysis (RIPRA) of acoustic emission via a point density fuzzy C-means (PD-FCM) method, Manufacturing Processes, 2022, 79: 924-933.

  10. A self-assembled bio-based coating with phytic acid and DL-arginine used for a flame-retardant and antibacterial cellulose fabric[J].Progress in Organic Coatings: An International Review Journal, 2022.

  11. Tribological effects of loose alumina abrasive assisted sapphire lapping by a fixed agglomerated diamond abrasive pad (FADAP), Materials Science in Semiconductor Processing, 2022, 143: 106556.

  12. Salinity power generation based biocompatible bacterial cellulose/MXene membrane for biological power source[J]. Nano Energy,2022,102.

  13. Electrostatic Self-Assembled Composite Abrasives for Chemical Mechanical Polishing of A-Plane Sapphire[J]. ECS Journal of Solid State Science and Technology,2021,10(11).

  14. Thin SAPO-34 zeolite membranes prepared by ball-milled seeds[J]. Separation and Purification Technology,2021,274.

  15. Reproducible synthesis of all-silica CHA zeolite membranes in a homogeneous mother liquor[J].Separation and Purification Technology,2021,274.

  16. Urethra-inspired biomimetic scaffold: A therapeutic strategy to promote angiogenesis for urethral regeneration in a rabbit model[J].Acta biomaterialia, 2020, 102.DOI:10.1016/j.actbio.2019.11.026.

  17. High-Performance Polypropylene±Clay Nanocomposites by In-situ Polymerization with Metallocene_Clay Catalysts, Advanced Materials, 2002, 14(2): 128-130

  18. Synthesis of Microporous Transition-Metal-Oxide Molecular Sieves by a Supramolecular Templating Mech, Nature, 1997, 389(6652): 704-706.

  19. Silver Clusters and Chemistry in Zeolites, Chemical Reviews, 1994, 94(4): 857-870.

  20. A Catianic Cesium Continuum in Zeolite X, Science, 1993, 259(5094): 495-497.


专利知识产权

软件著作权：

  1. 江振林. 纺织面料生产工艺优化系统V1.0, 2019SR1075783.

  2. 江振林. 纺织面料在线感知品质检测软件V1.0, 2019SR1075787.

  3. 江振林. 柔性定制面料开发系统V1.0, 2019R1076866.

发明专利：

  1. 孙韬，王汉强，步峥峥，王雪含；用于碳化硅晶片硅表面化学机械抛光的抛光液及抛光方法，ZL202111020197.1；

  2. 孙韬；高效无划伤玻璃抛光液及其生产方法，ZL200910031539.2；

  3. 孙韬；高效高精度蓝宝石抛光液及其制备方法，ZL200810020779.8；

  4. SUN TAO；MEDSKER ROBERT；CMP composition comprising surfactant，US 7,524,347 B2；

  5. CHANEYALEW ATENAFU N；SUN TAO；Mixed-abrasive polishing composition and method for using the same, US 6,896,591 B2；

  6. SUN TAO；WILSON DAVID R；GARCES JUAN M；Ion exchanged aluminum-magnesium silicate or fluorinated magnesium silicate aerogels and catalyst supports therefrom, US 6,376,421 B2；

  7. 张泽芳，张文娟；纳米二氧化铈及其制备方法，ZL201711070720.5；

  8. 张泽芳，刘卫丽，宋志棠；一种用于蓝宝石衬底的化学机械抛光液及其应用，ZL201110433696.3；

  9. 张泽芳，刘卫丽，宋志棠；氧化硅-氧化铈核壳复合磨料颗粒及其制备和应用，ZL201010106871.3；

  10. 张泽芳，刘卫丽，宋志棠；一种氧化硅/氧化铈复合磨粒的制备方法，ZL200910196101.X；

  11. 江振林,饶品华,金亮,李利红,朱敏,胡优贤,崔亚慧,于运歌. 一种高磷含量耐水解阻燃剂及其制备方法. CN 201910747396.9；

  12. 江振林,饶品华,金亮,李利红,朱敏,胡优贤,崔亚慧,于运歌. 一种阻燃材料的制备方法. CN 201910747307.0；

  13. 江振林,徐晓彤,朱敏,金亮,王金果,王锦成,宋仕强.一种低毒低烟聚酯纤维用阻燃母粒及其制备方法. CN 202019357927.0；

  14. 江振林, 王朝生, 王华平, 季诚昌, 吉鹏, 刘启富. 一种防污阻燃防熔滴聚酯及其制备方法, ZL 201410768991.8.

  15. 江振林, 王朝生, 王华平, 李建武, 季诚昌, 吉鹏. 一种防污阻燃防熔滴多功能共聚酯纤维及其制备方法, ZL 201410767791.0.

  16. 江振林, 王朝生, 王华平, 季诚昌, 刘启富. 一种防污阻燃防熔滴聚酯纤维及其制备方法, ZL 201410767794.4.

  17. 江振林, 王朝生, 汤廉, 王华平, 季诚昌, 晋缙. 一种防污阻燃防熔滴多功能共聚酯及其制备方法,ZL 201410767795.9.

  18. 江振林, 王朝生, 王华平, 季诚昌. 一种自阻燃防火疏水木板的制备方法,ZL 201410311963.3.

  19. 江振林, 王朝生, 王华平, 季诚昌. 一种远红外发射耐高温透明厨卫涂料及其制备方法, ZL 201410476380.6.

  20. 江振林, 黄长喜, 周炜. 一种中性墨水用水溶性乳化保湿润滑剂及其制备方法, ZL 201410072986.3.

成果获奖

  1. 谌建国，鲁传旺，陈阿斌，江振林，王朝生，叶敬平，许民川. 大容量熔体直纺超细旦涤纶长丝工程技术的开发. 2018年福建省科技进步二等奖；

  2. 彭治汉，江振林，易春旺，王朝生，吉鹏，彭治权，何小春，彭维礼，彭志宏。高效低卤

  3. 析出聚合物用阻燃剂关键技术开发与应用，2021年湖南省科技进步二等奖；

  4. 王华平，吉鹏，江振林，唐晓峰，徐毅明，谢伟，余子涯，朱敏，王朝生，王金果。纤维用功能母粒设计与制备关键技术，2022年上海市技术发明二等奖；


四、团队人才培养

团队培养研究生多名，其中已毕业硕士研究生17人，指导的学生中涌出一批优秀学生，曾获上海工程技术大学“优秀学生干部”、“优秀共青团干部”、“优秀学生干部标兵”等荣誉称号。团队注重培养学生创新和实践能力，鼓励学生积极参与互联网+、挑战杯等科技竞赛活动，曾获得第十三届“挑战杯”中国大学生创业计划竞赛上海市银奖，上海工程技术大学“互联网+”创新创业大赛二等奖，中国纺织工业联合会优秀学术论文奖等。


五、团队学术活动


 

孙韬教授和南京航空航天大学左敦稳教授共同举办、主持“2023广富林国际半导体材料与超精密加工论坛”，特邀国内外著名专家，大连理工大学康仁科教授、南方科技大学张壁教授、上海交大陈明教授等专家作大会报告，以“半导体材料及超精密加工”为主题，探讨新一代芯片制造、纳米级工艺、3D集成、先进封装等技术创新。论坛的成功举办提升了我校在半导体材料与超精密加工领域的影响力，为半导体产业的发展提供一个广泛的交流平台，推动了全球半导体产业的发展。